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真空等离子清洗机集成的控制系统设计,使操作更方便

真空等离子清洗机是一种利用真空环境下的等离子体进行表面清洗和处理的设备。工作原理:在真空环境中,通过射频或微波激发工艺气体,使其电离形成等离子体。这些高活性粒子通过物理轰击和化学反应,去除材料表面的有机物、氧化物及微小颗粒,实现无残留、高精度的表面处理。真空等离子清洗机集成的控制系统设计通过多维度技术整合,显著提升了设备操作的便捷性、工艺稳定性和智能化水平。以下是其核心设计要点及对操作便利性的提升:1.模块化硬件架构核心部件协同:控制系统以PLC或嵌入式处理器为核心,集成气体...

  • 2025

    8-12

    一、真空泄漏定位真空泄漏是影响等离子清洗机稳定性的核心问题,其定位需结合检测方法与设备特性综合判断:氦质谱检漏法适用于高真空系统(如分子泵腔体),通过向腔体充入0.1MPa氦气,用检漏仪扫描法兰接口、观察窗、气路电磁阀等部位。若检测到氦气泄漏,需紧固螺栓或更换氟橡胶O型圈(如Pfeiffer真空泵密封件)。例如,某设备因预真空室隔离门密封圈老化,导致真空度无法达到1×10⁻³Pa,更换后恢复。压力衰减测试适用于中低真空系统(如机械泵腔体),关闭真空泵后记录1小时内压力上升值。...

  • 2025

    7-21

    水滴角测量仪在材料科学与涂层研究中具有极其重要的地位,以下是其重要性的具体体现:一、基础研究方面1.表征材料表面特性表面能分析:水滴角是反映材料表面能的重要参数。根据Young方程,通过测量水滴角可以计算出材料的表面自由能。表面能是材料表面的一个基本物理性质,它影响着材料的表面吸附、润湿、铺展等行为。例如,对于金属材料,高表面能的表面往往具有更高的化学活性,容易发生氧化、腐蚀等反应;而低表面能的表面则相对较为稳定。表面粗糙度评估:水滴角测量仪可以间接反映材料表面的粗糙度。当水...

  • 2025

    7-15

    水滴角测量仪是用于表征材料表面润湿性的重要工具,其操作的准确性直接影响实验结果。以下是提高测量精度和效率的实用技巧:一、水滴角测量仪实验前准备:1.样品处理:清洁表面:使用酒精、去离子水或超声波清洗去除油污、灰尘等杂质,避免污染影响润湿性。干燥处理:用氮气吹干或真空干燥,确保样品表面无残留液滴。平整度检查:样品表面需平整,避免倾斜导致液滴滚动。2.仪器校准:水平校准:调节仪器底座水平,防止液滴受重力影响偏移。光学校准:调整摄像头焦距,确保液滴轮廓清晰;使用标准工具校正图像畸变...

  • 2025

    7-11

    要提升全自动镀层测厚仪的测量稳定性与重复性,需从设备、环境、操作及数据处理四方面综合优化,具体措施如下:一、设备精度优化选用高质量传感器:优先选择灵敏度高、稳定性强的磁性或涡流传感器,确保信号捕捉精准。例如,采用集成电涡流与电磁感应的高灵敏度探头,可显著提升测量稳定性。定期校准与维护:建立每日开机校准制度,使用标准样片(如铁基裸材)进行系统校准,确保测量误差≤3%(厚度值)±1μm。同时,定期检查探头磨损情况,及时更换变形或附着杂质的探头。二、环境干扰控制远离强...

  • 2025

    6-23

    半导体等离子去胶机是利用等离子体技术去除半导体制造过程中光刻胶的专用设备。其核心原理是通过等离子体中的高能粒子与光刻胶发生物理或化学作用,实现高效、精准的胶层去除。一、半导体等离子去胶机产品原理:1.等离子体生成机制气体辉光放电:在真空腔体内通入工艺气体,通过高频电场(RF射频或微波)激发气体电离,形成等离子体。等离子体组成:包含高能电子、离子、自由基、紫外光子和中性分子。2.去胶机理物理作用:高能粒子(如离子)轰击光刻胶表面,通过物理溅射破坏胶分子结构,适用于厚胶层或硬质光...

  • 2025

    6-19

    半导体等离子去胶机是半导体制造工艺中的关键设备,主要用于去除光刻胶、残留物或污染物。它利用等离子体的高能特性,通过物理或化学作用实现高效、精准的去胶和表面处理。一、半导体等离子去胶机核心功能与原理:1.核心功能:去胶:去除光刻工艺后残留的光刻胶(正胶或负胶)。表面清洁:清除晶圆表面的有机物、氧化物或颗粒污染物。表面活化:增强晶圆表面活性,提高后续工艺(如镀膜、键合)的附着力。蚀刻:选择性去除特定材料(如氧化层),用于精细图形处理。2.工作原理:通过等离子体(由气体电离产生的高...

  • 2025

    6-13

    一、校准流程准备工作:确保仪器表面清洁,特别是测量窗口,避免污垢影响精度。使用厂家提供的校准样片,确保标准样品可追溯至国际标准。设备预热:打开仪器,预热至推荐温度,一般需5-10分钟,确保设备稳定运行。校准操作:在操作界面选择校准模式,将标准样品放置在测量位置,确保紧密贴合,减少空气间隙。对每个标准样品至少进行三次测量,记录平均值。调整与验证:根据测量数据调整校准系数,如灵敏度、能量偏移等。应用校正算法,如线性回归,提高准确性。使用另一套标准样品验证校准效果,确保结果与标准值...

  • 2025

    5-26

    半导体等离子清洗机是一种用于清洁和表面处理的设备,广泛应用于半导体制造、电子封装、光伏、医疗器械等领域。其6种检测功能通常用于确保设备运行的稳定性、清洗效果的可靠性以及工艺参数的准确性。以下是常见的6种检测功能及其作用:1.射频(RF)功率检测功能:实时监测等离子体的射频功率,确保功率输出稳定。作用:射频功率直接影响等离子体的能量和清洗效果,功率不稳定可能导致清洗不均匀或表面损伤。通过检测功率,可以及时发现设备故障或参数偏差,避免生产损失。应用场景:半导体晶圆清洗、金属表面活...

  • 2025

    5-21

    半导体等离子清洗机是一种利用等离子体技术对半导体材料表面进行清洁和处理的设备。其核心原理是通过等离子体中的高能粒子与材料表面相互作用,去除污染物、活化表面或改变表面性质。一、等离子体的产生等离子体是物质的第四态(固态、液态、气态之后),由带电粒子(电子、离子)和中性粒子(原子、分子)组成。在等离子清洗机中,等离子体通常通过以下方式产生:1.气体辉光放电:在低压环境下,向反应腔体中通入工艺气体(如氧气、氩气、氮气等)。通过高频电场(如射频RF或微波)激发气体,使其电离形成等离子...

  • 2025

    5-20

    等离子风棒利用脉冲式放电技术,通过高压发生器产生高强度脉冲电场,使离子发生器将气体分子电离并加速,形成高速离子风。这种脉冲式放电方式具有能耗低、放电效率高的特点,能在短时间内产生大量正负离子,有效中和物体表面静电,同时利用压缩气流清除灰尘和微粒。然而,脉冲放电过程中可能产生臭氧,需采取有效控制策略。在臭氧控制方面,首先需优化放电参数,如脉冲频率、峰值电压和脉宽,以降低臭氧生成量。研究表明,短脉冲放电相比交流正弦高频电源,能显著提高臭氧生成效率,但同时也需平衡臭氧浓度与能耗。其...

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