详细介绍
一、等离子体介绍
1.1产品原理
通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质,从而优化材料表面性能,实现清洁、改性、刻蚀等目的。
1.2行业应用
二、产品介绍
2.1产品概述
半导体等离子去胶机(Plasma cleaner)是国内的“数字化大气等离子清洗机”,一款拥有强大的“CPU”的大等离子清洗机。采用稳定性高的移相全桥软开关电路,拥有数字通信及模拟通信两种数据传输方式,通过ARM芯片强大的数据处理功能,实现设备数字化控制,客户产线,可达到中央控制系统统一监控,使清洗效果更稳定、更持久,抗干扰性能增强,减低故障率,控制维护成本,提高产能,有效减低生产成本。
2.2产品优势
(1)军工级硬件设计,使用环境温度范围可达到-25℃-50℃,适应不同的严苛场景,MTBF时间可达到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃);
(2)数字化控制,显示屏显示,实时监控,抗干扰强;
(3)采用TI品牌的移相全桥软开关电路和PFC功率因素校正,相对模拟硬开关电路效率可提高10%以上,响应时间小于0.1s,抗干扰性强;
(4)搭载ST品牌的ARM芯片,人机交互简单明了,强大的远程调试通讯功能,无缝对接任意的应用场景,自主研发的软件对实时采集的数据进行智能判断并协调工作,可实现功率自匹配,稳定无变化;
(5)支持RS-485/232数字通信接口和模拟通信接口,强大的远程通信功能;
(6)具有6种检测功能:气压检测、主板温度检测、变压器弧压检测、变压器初级峰值电流检测,电网电流检测,喷枪转速检测;
(7)具有十余种故障报警功能,故障排查定位时间缩短80%以上;
(8)等离子发生器同时支持射流喷枪、旋转喷枪及线性宽幅,一键设置,随时变换;
(9)具有过温防护、过载防护、短路、断路、漏电防护、各种误操作保护等防护功能。
2.3半导体等离子去胶机结构
结构:高压数字电源发生器、等离子发生装置喷枪与控制系统组成。
(A)高压数字电源发生器:
等离子体的产生需要高压激励,本产品采用中频电源进行激励,数字化控制方式,可实现功率自匹配,保证功率的稳定输出,且输出精度高,输出功率不受气压波动,市网电压波动,喷枪电极老化等影响。参数需根据样品实际情况进行调节,以便达到处理效果。
(B)等离子发生装置喷枪:
等离子去胶机搭配高速旋转喷枪:主要处理大面积、形状较复杂的材料,处理面积范围20-80mm,可与原有的生产流水线搭配,实现全自动在线生产,节约人力成本。
(C)控制系统:
控制系统作用在于控制SPA-5800大气等离子清洗机的运行,以及整体系统的保护。
2.4产品规格
大气等离子主机 | |
设备尺寸 | L580*W480*H149mm |
重量 | 10KG |
需求电源 | 电源:单相AC220V,50/60Hz, 10A,接地电阻小于4Ω |
等离子发生器规格 | |
电源功率 | 600-1000W可调(依据负载情况设定范围) |
电源频率 | 50/60Hz |
远程通信方式 | 支持485接口,232接口,并有模拟通信接口 |
控制方式 | 数字控制,可选本地控制与远程控制 |
等离子枪头规格 | |
处理宽度 | 20-90mm |
枪头尺寸 | L308*W76*H149mm |
重量 | 6.5KG |
枪头可调节高度 | 5-15mm |
气压范围 | 标准0.2MPA,0.08~0.25MPA可调 |
工艺气体 | |
使用气体 | CDA或者N2 |
检测与报警 | |
检测 | 气压检测、主板温度检测、变压器弧压检测、变压器初级峰值电流检测,电网电流检测,喷枪转速检测 |
报警 | 具备转速、温度、电压、气压、过载、漏电、功率不匹配、短路、开路、过流等保护功能 |
设备尺寸图纸
2.5.1枪头尺寸图
2.5
2.5.2电源尺寸图
三、规格要求
3.1 厂务规格要求
厂务规格要求 | |
需求电源 | 电源:单相AC220V,50/60Hz, 10A,接地电阻小于4Ω |
厂务排气 | 流 量 :5m³/min 材质:耐腐蚀材质 |
厂务压缩空气要求 | 管径:8mm 材质:PU 管 压力:0.4-0.6MPa 气源质量应该满足:固体颗粒粒径<=0.1um,含油量<=0.01mg/m³,压力露点-40°C以下 |
3.2
配置清单 | ||||
序号 | 名称 | 型号和规格 | 数量 | 备注 |
1 | 主机发生器 | SPA-5800 | 1 | 台 |
2 | 常规枪头 | 按客户要求配备 | 1 | 台 |
3 | 普通喷嘴 | 按客户要求配备 | 1 | PCS |
4 | 金属波纹管长 | 线长3.5M | 1 | 条 |
5 | 送货单 | 纸质文档 | 1 | 份 |
6 | DB15接头 | 线长20cm | 1 | 条 |
7 | 产品说明书 | 纸质文档 | 1 | 份 |
8 | 产品合格证 | 纸质文档 | 1 | 份 |
9 | 产品保修卡 | 纸质文档 | 1 | 份 |
10 | 产品质检报告 | 纸质文档 | 1 | 份 |
损耗清单 | ||||
序号 | 名称 | 型号和规格 | 数量 | 寿命时间 |
1 | 喷嘴 | / | 1 | 2300H |
2 | 电极 | / | 1 | 1800H |
3 | 皮带 | / | 1 | 4800H |
4 | 碳刷 | / | 1 | 6000H |
注:耗材的使用寿命时间与现场的使用条件有关系,以下寿命时间仅供参考。
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