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半导体等离子去胶机

简要描述:半导体等离子去胶机通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性"组分包括:离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质,从而优化材料表面性能,实现清洁、改性、刻蚀等目的。

  • 产品型号:SPA-5800
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-11-27
  • 访  问  量:1643

详细介绍

一、等离子体介绍

1.1产品原理

通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质,从而优化材料表面性能,实现清洁、改性、刻蚀等目的。

1.2行业应用
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二、产品介绍

2.1产品概述

半导体等离子去胶机(Plasma cleaner)是国内的“数字化大气等离子清洗机”,一款拥有强大的“CPU”的大等离子清洗机。采用稳定性高的移相全桥软开关电路,拥有数字通信及模拟通信两种数据传输方式,通过ARM芯片强大的数据处理功能,实现设备数字化控制,客户产线,可达到中央控制系统统一监控,使清洗效果更稳定、更持久,抗干扰性能增强,减低故障率,控制维护成本,提高产能,有效减低生产成本。

2.2产品优势

1、军工级硬件设计,使用环境温度范围可达到-25℃-50℃,适应不同的严苛场景,MTBF时间可达到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃);
2、数字化控制,显示屏显示,实时监控,抗干扰强;
3、采用TI品牌的移相全桥软开关电路和PFC功率因素校正,相对模拟硬开关电路效率可提高10%以上,响应时间小于0.1s,抗干扰性强;
4、搭载ST品牌的ARM芯片,人机交互简单明了,强大的远程调试通讯功能,无缝对接任意的应用场景,自主研发的软件对实时采集的数据进行智能判断并协调工作,可实现功率自匹配,稳定无变化;
5、支持RS-485/232数字通信接口和模拟通信接口,强大的远程通信功能;
6、具有6种检测功能:气压检测、主板温度检测、变压器弧压检测、变压器初级峰值电流检测,电网电流检测,喷枪转速检测;
7、具有十余种故障报警功能,故障排查定位时间缩短80%以上;
8、等离子发生器同时支持射流喷枪、旋转喷枪及线性宽幅,一键设置,随时变换;
9、具有过温防护、过载防护、短路、断路、漏电防护、各种误操作保护等防护功能。

2.3产品结构

  结构:高压数字电源发生器、等离子发生装置喷枪与控制系统组成。

(A)高压数字电源发生器:

等离子体的产生需要高压激励,本产品采用中频电源进行激励,数字化控制方式,可实现功率自匹配,保证功率的稳定输出,且输出精度高,输出功率不受气压波动,市网电压波动,喷枪电极老化等影响。参数需根据样品实际情况进行调节,以便达到处理效果。

(B)等离子发生装置喷枪:

  半导体等离子去胶机搭配高速旋转喷枪:主要处理大面积、形状较复杂的材料,处理面积范围20-80mm,可与原有的生产流水线搭配,实现全自动在线生产,节约人力成本。

(C)控制系统:

 控制系统作用在于控制SPA-5800大气等离子清洗机的运行,以及整体系统的保护。

2.4产品规格

大气等离子主机

设备尺寸

L580*W480*H149mm

重量

10KG

需求电源

电源:单相AC220V,50/60Hz, 10A,接地电阻小于4Ω

等离子发生器规格

电源功率

600-1000W可调(依据负载情况设定范围)

电源频率

50/60Hz

远程通信方式

支持485接口,232接口,并有模拟通信接口

控制方式

数字控制,可选本地控制与远程控制

等离子枪头规格

处理宽度

20-90mm

枪头尺寸

L308*W76*H149mm

重量

6.5KG

枪头可调节高度

5-15mm

气压范围

标准0.2MPA,0.08~0.25MPA可调

工艺气体

使用气体

CDA或者N2

检测与报警

检测

气压检测、主板温度检测、变压器弧压检测、变压器初级峰值电流检测,电网电流检测,喷枪转速检测

报警

具备转速、温度、电压、气压、过载、漏电、功率不匹配、短路、开路、过流等保护功能

设备尺寸图纸

2.5.1枪头尺寸图

2.5

image.png


2.5.2电源尺寸图
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三、规格要求

3.1 厂务规格要求

厂务规格要求

需求电源

电源:单相AC220V,50/60Hz, 10A,接地电阻小于4Ω

厂务排气

流 量 :5m³/min

材质:耐腐蚀材质

厂务压缩空气要求

管径:8mm

材质:PU 管

压力:0.4-0.6MPa

气源质量应该满足:固体颗粒粒径<=0.1um,含油量<=0.01mg/m³,压力露点-40°C以下

3.2

 

配置清单

序号

名称

型号和规格

数量

备注

1

主机发生器

SPA-5800

1

2

常规枪头

按客户要求配备

1

3

普通喷嘴

按客户要求配备

1

PCS

4

金属波纹管长

线长3.5M

1

5

送货单

纸质文档

1

6

DB15接头

线长20cm

1

7

产品说明书

纸质文档

1

8

产品合格证

纸质文档

1

9

产品保修卡

纸质文档

1

10

产品质检报告

纸质文档

1

 

 

 

损耗清单

序号

名称

型号和规格

数量

寿命时间

1

喷嘴

/

1

2300H

2

电极

/

1

1800H

3

皮带

/

1

4800H

4

碳刷

/

1

6000H

 

  注:耗材的使用寿命时间与现场的使用条件有关系,以下寿命时间仅供参考。

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