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详细介绍
| plasma清洗机 | ||
| 设备尺寸 | L1100×W940×H1755mm | |
| 重量 | 600Kg | |
| 需求电源 | AC380V，50/60Hz，5线，25A（总空开选型为C型以上） | |
| 等离子发生器规格 | ||
| 电源功率 | 射频 | 中频 |
| 0~1000W | 0-2000W | |
| 电源频率 | 13.56MHz | 40 KHz |
| 真空系统 | ||
| 真空泵 | 飞跃单极泵VSV65+鲍斯罗茨泵BSJ70 | |
| 真空管路 | 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 | |
| 材质 | 铝合金 | |
| 厚度 | 25mm | |
| 密封性 | 军工级焊接密封 | |
| 腔体内部尺寸 | 500×500×600mm（宽×高×深） | |
| 电极板有效尺寸 | 372（W） X 451(D)mm | |
| 可用空间间距 | 24mm | |
| 电极板布置方式 | 水平电极板 | |
| 工作托盘 | 标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网） | |
| 工作空间 | 8层 | |
| 工艺气体 | ||
| 流量范围 | 0~300SCCM | |
| 工艺气体气路 | 标配两路，可定制。工艺气体管路为铁氟龙材质 | |
| 控制系统 | ||
| 系统控制 | PC控制 | |
| 交互方式 | Windows界面 5、设备尺寸图纸 1、主机尺寸图纸 | |
二、plasma清洗机的产品介绍
1、产品概述
SPV-150真空等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
2、产品结构真空等离子体表面处理系统主要包括三个部分：真空腔及真空系统，等离子体发生器，控制系统。
（A）真空腔及真空发生系统真空腔固定于机柜框架内，左右两侧为可拆门，因此内部的真空腔及真空系统的维修是极方便的。真空发生系统由波纹管、KF接头、真空泵以及油雾过滤器组成，核心部件真空泵（真空泵组）
（B）等离子体发生器等离子体发生器在20Pa-100Pa间给电极板施加电压，产生低温等离子体。利用高频转换技术形成高频电压加到电极板上，当真空腔内达到一定真空度时，产生等离子体放电现象，放电后电路会自动调节电压到适当值，保证电路正常稳定放电。
（C）控制系统本系统使用MCGS触摸屏、西门子PLC、中文界面。设备的工艺流程控制：真空泵启动->挡板阀开启->达到设定的真空度->通入工艺气体->RF放电->工作时间到破真空->工作完成。设备分自动和手动两种方式。
3、产品优势
1、等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题；
2、清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率；
3、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性；
4、使用等离子清洗，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生；
5、使用等离子清洗，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点；
6、等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺；
7、采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
8、在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的；
9、等离子体清洗可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都可以使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗。
（1）等离子腔体图纸
4、产品规格
| 配置清单 | |||||
| 序号 | 名称 | 型号和规格 | 数量 | 备注 | |
| 1 | 主机 | SPV-150 | 1 | 台 | |
| 2 | 真空腔体 | 铝合金真空腔体L600×W500×H500mm | 1 | PCS | |
| 3 | 激励电源 | 射频电源 | 中频电源 | 1 | 套 |
| 频率：13.56MHz； 功率：0~1000W 全自动真空电容匹配器 | 频率：40KHz； 功率：0~2000W | ||||
| 4 | PLC | 德国西门子，S7-200 | 1 | PCS | |
| 5 | 触摸屏 | 昆仑通态，七寸屏幕，TPC7072GI | 1 | PCS | |
| 6 | 流量计 | 英国warwick品牌 | 2 | PCS | |
| 7 | 真空泵组 | 飞跃单极泵VSV65+鲍斯罗茨泵BSJ70 | 1 | 台 | |
| 8 | 真空计 | 英福康 | 1 | PCS | |
| 9 | 说明书 | 真空等离子清洗机SPV-150操作说明书 | 1 | 份 | |
| 验收标准 | ||
| 项目 | NO. | 内容 |
| 硬件验收 | 1 | 设备清单验收 |
| 2 | 出厂报告 | |
| 3 | 说明书 | |
| 性能验收 | 1 | 试用样品进行处理，处理效果和均匀性满足客户验收标准或者合同协议要求。 |
| 稳定性测试 | 1 | 连续10分钟等离子清洗测试 |
| 2 | 试片水滴角测试 | |
| 验收日期 | 1 | 设备交付后 2 个月内必须完成验收 |
| 损耗清单 | ||||
| 序号 | 名称 | 型号和规格 | 数量 | 寿命时间 |
| 1 | 真空泵过滤芯 | AF60 | 1PCS | 6个月 |
| 2 | 真空泵油 | A200 | 5L | 3个月 |
| 3 | 腔门密封圈 | Φ10 | 1PCS | 1年 |
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