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真空等离子清洗机

简要描述:SPV-200真空等离子清洗机通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性"组分包括:离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质来氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质,从而优化材料表面性能,实现清洁、改性、刻蚀等目的。

  • 产品型号:SPV-200
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-11-27
  • 访  问  量:543

详细介绍

一、等离子体介绍
1、产品原理
SPV-200真空等离子清洗机通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性"组分包括:离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质来氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质,从而优化材料表面性能,实现清洁、改性、刻蚀等目的。
2、行业应用
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二、产品介绍
1、产品概述
SPV-200真空等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
2、产品优势
(1)真空系统集成,占地面积小。
(2)便捷的收放板方式。
(3)低耗能、耗气产品。
(4)水平电极设计,可满足软性产品处理需求。
(5)集成的控制系统设计,使操作更方便。
(6)合理的等离子反应空间,使处理更均匀。
(7)产品放置治具灵活多变,可适应不规则的产品。
3、产品结构
真空等离子体表面处理系统主要包括三个部分:等离子体发生器、真空腔及真空系统、控制系统。
(1)等离子体发生器
等离子体发生器在20Pa-100Pa间给电极板施加电压,产生低温等离子体。利用高频转换技术形成高频电压加到电极板上,当真空腔内达到一定真空度时,产生等离子体放电现象,放电后电路会自动调节电压到适当值,保证电路正常稳定放电。
(2)真空腔及真空发生系统
真空腔固定于机柜框架内,左右两侧为可拆门,因此内部的真空腔及真空系统的维修是极方便的。真空发生系统由波纹管、KF接头、真空泵以及油雾过滤器组成,核心部件真空泵(真空泵组)
(3)控制系统
本系统使用MCGS触摸屏、西门子PLC、中文界面。设备的工艺流程控制:真空泵启动->挡板阀开启->达到设定的真空度->通入工艺气体->RF放电->工作时间到破真空->工作完成。设备分自动和手动两种方式。
4、产品规格

5、设备尺寸图纸
(1)主机图纸 


2、等离子腔体图纸

三、规格要求
1、厂务规格要求

2、配置清单
 
3、验收标准
 
4、损耗清单

注:耗材的使用寿命时间与现场的使用条件有关系,以上寿命时间仅供参考

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