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在半导体制造过程中,光刻胶的去除是关键步骤之一。等离子去胶技术因其高效、环保和精确性被广泛应用于这一过程。然而为了进一步提升生产效率和产品质量,优化半导体等离子去胶机的去胶效率显得尤为重要。1、优化工艺参数等离子去胶的效率与多种工艺参数密切相关,包括射频功率、反应室压力、气体流量和类型、处理时间等。通过实验优化这些参数,可以找到适合特定光刻胶材料的去胶条件。例如:(1)射频功率:适当增加射频功率可以提高等离子体密度,从而增强去胶效果。但过高的功率可能导致材料损伤或过度刻蚀。(...
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随着半导体行业的发展,半导体设备制造的相关技术也在不断进步。作为半导体生产中重要的一环,清洗工艺一直是一个不容忽视的领域。为了提高半导体设备的质量和稳定性,减少生产成本和对环境的污染,各大企业纷纷加强对清洗设备的研发和改进。近年来,半导体等离子清洗机作为一种新兴清洗设备,逐渐受到了市场的青睐。半导体等离子清洗机是利用等离子体化学反应原理进行清洗的设备。等离子体状态下,氧分子与水分子会形成羟基自由基(.OH),这种自由基具有强氧化性,可以快速催化有机物和无机物的降解。因此可以高...
5-9
随着表面科学的快速发展,科研级接触角测量仪已经成为了一种重要的工具。接触角是指三相界面之间液体表面张力对固体表面张力的比值所形成的一个角度。接触角的大小可以反映出物体表面的亲水性和疏水性,以及固体表面的化学组成和微观结构等信息。因此,接触角测量仪在材料表面改性、涂层制备、生物医学、环境保护和能源等领域中有着广泛应用。然而,传统的接触角测量技术受到了很多限制。例如,由于物体表面的不规则性和非均匀性,容易出现偏差和误差,从而影响测量结果的准确性。为此,科学家们一直在努力寻找新的解...
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等离子体是物质的第四态,是一种电离的气体,由于存在电离出来的自由电子和带电离子,等离子体具有很高的电导率,与电磁场存在很强的耦合作用。等离子态在宇宙中广泛存在,常被看作物质的第四态。等离子体表面改性是一项高新技术,它是一种以物理手段处理纤维达到化学处理效果的方法。等离子体表面改性是干态处理,节能节水、清洁高效、操作简单且易控制、环境污染小。经过该方法处理的织物仅涉及纤维的表面,不破坏纤维自身的性质,使纤维表面特性得以改变而达到理想的应用效果。这样既可保持织物原有优点,又可赋予...
3-23
随着工业生产的不断发展和人们对产品品质的要求越来越高,表面处理技术逐渐成为各行业的重要环节。而宽幅等离子清洗机作为表面处理中的一种高效、环保的设备,得到了广泛的应用。一、原理及特点宽幅等离子清洗机是利用等离子体在高频电场作用下产生活性氧、氮等化学物质,从而实现表面去污、除膜、改善附着力等效果的设备。其主要特点如下:1、高效:采用高频电场产生的等离子体,能够快速去除表面的油污、氧化层、胶粘物等杂质,提高表面质量。2、环保:采用等离子体清洗技术,无需使用有机溶剂、酸碱等化学药剂,...
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广泛应用于电子、平板电脑、手机、家电、汽车、钢等行业的宽幅等离子清洗机是一种新兴技术,它能够更好地消除物料表面上的灰尘、污渍、油脂和污物,保持物料表面平整、光滑、干净。结合了高压等离子技术和传统的蒸汽除锈技术,在实现高效地清洁表面的同时,能够很好地保护物料表面,从而提高物料表面的加工质量和维护寿命。宽幅等离子清洗机具有清洁效果好、操作安全、成本低、占地面积小等优点,可以有效消除到表面锈垢、油脂、污物等,保持产品表面光滑,避免表面结节、氧化和炬腐等现象的发生,从而改善产品的外观...