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在线等离子清洗机

简要描述:在线等离子清洗机通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性"组分包括:离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质,从而优化材料表面性能,实现清洁、改性、刻蚀等目的。

  • 产品型号:SPA-5600
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-07-30
  • 访  问  量:3384

详细介绍

一、等离子体介绍
1.1产品原理
在线等离子清洗机通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质,从而优化材料表面性能,实现清洁、改性、刻蚀等目的。

1.2行业应用

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二、产品介绍
2.1、产品概述
该大气等离子清洗机(Plasma cleaner)是国内的“数字化大气等离子清洗机”,一款拥有强大的“CPU”的大等离子清洗机。采用稳定性高的移相全桥软开关电路,拥有数字通信及模拟通信两种数据传输方式,通过ARM芯片强大的数据处理功能,实现设备数字化控制,客户产线,可达到中央控制系统统一监控,使清洗效果更稳定、更持久,抗干扰性能增强,减低故障率,控制维护成本,提高产能,有效减低生产成本。

2.2、在线等离子清洗机功能配备
1、检测功能
气压检测、输出高压监控、主板温度监控、变压器初级峰值电流监控、电网电流检测、电网电压检测、24ν供电检测、两路外部温度模拟量检测、枪头转速监控、等离子强度监控。(选配)
2、故障警报
短路、断路、气体压力不足警报、主板错误警报、气体压力过高警报、过载警报、软件功能异常警报、功率不匹配警报、电机转速过低警报。

2.3、产品结构
SPA-5600大气等离子清洗机结构:高压数字电源发生器、等离子发生装置喷枪与控制系统组成。
(A)高压数字电源发生器:等离子体的产生需要高压激励,SPA-5600大气等离子清洗机采用中频电源进行激励,数字化控制方式,可实现功率自匹配,保证功率的稳定输出,且输出精度高,输出功率不受气压波动,市网电压波动,喷枪电极老化等影响。参数需根据样品实际情况进行调节,以便达到处理效果。
(B)等离子发生装置喷枪:SPA-5600大气等离子清洗机搭配直喷喷枪:主要处理小面积、形状较复杂的材料,处理面积范围2-15mm,可与原有的生产流水线搭配,实现全自动在线生产,节约人力成本。
(C)控制系统:控制系统作用在于控制SPA-5600大气等离子清洗机的运行,以及整体系统的保护。

2.4、产品规格

大气等离子主机

设备尺寸

L580*W480*H149mm

重量

10KG

需求电源

电源:单相AC220V,50/60Hz, 10A,接地电阻小于4Ω

等离子发生器规格

电源功率

300-650W可调(依据负载情况设定范围)

电源频率

50/60Hz

远程通信方式

支持485接口,232接口,并有模拟通信接口

控制方式

数字控制,可选本地控制与远程控制

等离子枪头规格

处理宽度

2-15mm

枪头尺寸

L260*W46*H46mm

重量

2KG

枪头可调节高度

5-15mm

气压范围

标准0.1MPA,0.08~0.15MPA可调

工艺气体

使用气体

CDA或者N2

检测与报警

检测

气压检测、主板温度检测、变压器弧压检测、变压器初级峰值电流检测,电网电流检测,喷枪转速检测

报警

具备转速、温度、电压、气压、过载、漏电、功率不匹配、短路、开路、过流等保护功能

 

 


2.5设备尺寸图纸
2.5.1枪头尺寸图

image.png
2.5.2电源尺寸图

image.png 

三、规格要求

厂务规格要求

需求电源

电源:单相AC220V,50/60Hz, 10A,接地电阻小于4Ω

厂务排气

流 量 :5m³/min

材质:耐腐蚀材质

厂务压缩空气要求

管径:8mm

材质:PU 管

压力:0.4-0.6MPa

气源质量应该满足:固体颗粒粒径<=0.1um,含油量<=0.01mg/m³,压力露点-40°C以下

 

 

配置清单

序号

名称

型号和规格

数量

备注

1

主机发生器

SPA-5600

1

2

常规枪头

按客户要求配备

1

3

普通喷嘴

按客户要求配备

1

PCS

4

金属波纹管长

线长3.5M

1

5

送货单

纸质文档

1

6

DB15接头

线长20cm

1

7

产品说明书

纸质文档

1

8

产品合格证

纸质文档

1

9

产品保修卡

纸质文档

1

10

产品质检报告

纸质文档

1

 

 

验收标准

项目

NO.

内容

硬件验收

1

设备清单验收

2

出厂报告

3

说明书

性能验收

1

试用白片玻璃基板进行处理,线速度 4M/min 以下, 处理后的接触角平均 10°以下 测定时所用水滴角测量仪,液体为纯水 测试结果鉴定:白片玻璃处理前水滴角 30°以下, 等离子处理后 5分钟内测试水滴角,要求 10°以下。

稳定性测试

1

连续 1 小时等离子喷射测试

2

试片水滴角测试

验收日期

1

设备交付后 2个月内必须完成验收

 

 

损耗清单

序号

名称

型号和规格

数量

寿命时间

1

喷嘴

/

1

2800H

2

电极

/

1

2100H

注:耗材的使用寿命时间与现场的使用条件有关系,以上寿命时间仅供参考

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