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晶圆等离子清洗机

简要描述:SPV-100晶圆等离子清洗机通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性"组分包括:离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质来氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质,从而优化材料表面性能,实现清洁、改性、刻蚀等目的。

  • 产品型号:SPV-100
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-11-27
  • 访  问  量:496

详细介绍

  一、等离子体介绍

  1.1产品原理

  晶圆等离子清洗机通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质,从而优化材料表面性能,实现清洁、改性、刻蚀等目的。

  1.2行业应用

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  二、产品介绍

  2.1产品概述

  SPV-100晶圆等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

  2.2产品优势

  v产品放置治具灵活多变,可适应不规则的产品。

  v水平电极设计,可满足软性产品处理需求。

  v低耗能、耗气产品。

  v便捷的收放板方式。

  v真空系统集成,占地面积小。

  v合理的等离子反应空间,使处理更均匀。

  v集成的控制系统设计,使操作更方便。

  2.3产品结构

  真空等离子体表面处理系统主要包括三个部分:真空腔及真空系统,等离子体发生器,控制系统。

  (A)真空腔及真空发生系统

  真空腔固定于机柜框架内,左右两侧为可拆门,因此内部的真空腔及真空系统的维修是极方便的。真空发生系统由波纹管、KF接头、真空泵以及油雾过滤器组成,核心部件真空泵(真空泵组)。

  (B)等离子体发生器

  等离子体发生器在20Pa-100Pa间给电极板施加电压,产生低温等离子体。利用高频转换技术形成高频电压加到电极板上,当真空腔内达到一定真空度时,产生等离子体放电现象,放电后电路会自动调节电压到适当值,保证电路正常稳定放电。

  (C)控制系统

  本系统使用MCGS触摸屏、西门子PLC、中文界面。设备的工艺流程控制:真空泵启动->挡板阀开启->达到设定的真空度->通入工艺气体->RF放电->工作时间到破真空->工作完成。设备分自动和手动两种方式。

  2.4产品规格

真空等离子主机

设备尺寸

L1000×W900×H1750mm

重量

500Kg

需求电源

AC380V,50/60Hz,5线,25A(总空开选型为C型以上)

等离子发生器规格

电源功率

射频

中频

0~600W

0-1000W

电源频率

13.56MHz

40 KHz

真空系统

真空泵

飞越双级旋片泵(油泵):60m3/h

真空管路

全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管

材质

铝合金

厚度

25mm

密封性

军工级焊接密封

腔体内部尺寸

450×450×500mm(宽×高×深)

电极板有效尺寸

322×351mm(宽×深)

可用空间间距

20mm

电极板布置方式

水平电极板

工作托盘

标配一套,材质可选配(铝材、钢丝网)

工作空间

8层

工艺气体

流量范围

0~300SCCM

工艺气体气路

标配两路,可定制。工艺气体管路为铁氟龙材质

控制系统

系统控制

PLC

交互方式

7寸触控屏幕

  2.5.1主机尺寸图纸

image.png

  2.5.2等离子腔体图纸

image.png

 

  三、规格要求

  3.1厂务规格要求

 

厂务规格要求

交流电源规格

电源:AC380V,50/60Hz,5线,25A(总空开选型为C型以上)

厂务排气

流量:2.0 m³/min

厂务工作气体要求

流量:1~10 L/min

压力:3~7 kg/cm²

管径:6×4 mm

材质:PU管

纯度:99.99%以上

厂务压缩空气要求

流量:1~10 L/min

压力:3~7 kg/cm²

管径:8×5 mm

材质:PU管

露点:-40℃以下

Particle>0.3μm:10Pcs/ft³

3.2

配置清单

序号

名称

型号和规格

数量

备注

1

主机

SPV-100

1

2

真空腔体

铝合金真空腔体

1

PCS

3

激励电源

射频电源

中频电源

1

频率:13.56MHz;

功率:0~600W

全自动真空电容匹配器

频率:40KHz;

功率:0~1000W;

4

PLC

德国西门子,S7-200

1

PCS

5

触摸屏

昆仑通态,七寸屏幕,TPC7072GI

1

PCS

6

流量计

英国warwick品牌

2

PCS

7

真空泵组

飞越双级旋片泵(油泵):60m3/h

1

8

真空计

爱德华

1

PCS

9

说明书

真空等离子清洗机SPV-100操作说明书

1

3.3

验收标准

项目

NO.

内容

硬件验收

1

设备清单验收

2

出厂报告

3

说明书

性能验收

1

试用样品进行处理,处理效果和均匀性满足客户验收标准或者合同协议要求。

稳定性测试

1

连续10分钟等离子清洗测试

2

试片水滴角测试

验收日期

1

设备交付后 2 个月内必须完成验收

3.4

损耗清单

序号

名称

型号和规格

数量

寿命时间

1

真空泵过滤芯

AF60

1PCS

6个月

2

真空泵油

A200

5L

3个月

3

腔门密封圈

Φ10

1PCS

1年

注:耗材的使用寿命时间与现场的使用条件有关系,以上寿命时间仅供参考。

 

 

 

 

 

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